江刺 正喜 教授

基本情報経歴主要業績研究紹介担当授業メッセージ

江刺 正喜 教授

クラスター:融合領域

専門の研究領域と研究テーマ
計測・刺激用の電極やセンサの開発

関連ウェブページ
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/

基本情報

職位

教授

所属部局

原子分子材料科学高等研究機構

分野名

マイクロマシン工学分野

研究手法と
テクニック

半導体微細加工技術でセンサや電極などを製作するMEMS(Micro Electro Mechanucal Systems)を用い、脳科学研究のツールを提供する。

研究室所在地

仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176 西澤潤一記念研究センター

電話番号

022-305-2351

メールアドレス

esashi [@] mems.mech.tohoku.ac.jp

所属学会

電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、計測自動制御学会、日本機械学会、精密工学会、日本生体医工学会、日本レーザ学会、日本実装学会、IEEE

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経歴

昭和24年1月30日生。昭和46年東北大学工学部電子工学科卒。51年同大学院博士課程修了。同年より東北大学工学部助手、56年助教授、平成2年より教授となり現在(東北大学 原子分子材料科学高等研究機構 (WPI-AIMR)、(兼) マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)センター長。半導体センサ、マイクロマシニングによる集積化システム、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究に従事。
著書:「半導体集積回路設計の基礎」培風館(昭和56年)、「電子情報回路I,II」昭晃堂(平成元年)、「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」培風館(平成4年)、「はじめてのMEMS」工業調査会(平成9年) 他
受賞:電子通信学会業績賞(昭和55年)、日本IBM科学賞(平成5年)、SSDM Award(平成13年)、第3回産学官連携推進会議文部科学大臣賞(平成16年)、紫綬褒章(平成18年)他

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主要業績

M.Esashi : Wafer Level Packaging of MEMS, J. of Micromechanics and Microengineering, 18 (2008) 073001(13pp)

五島彰二、松永忠雄、松岡雄一郎、黒田輝、江刺正喜、芳賀洋一 : カテーテル実装に適した血管内MRIプローブの開発, 電気学会論文誌E,128-E, 10 (2008) 389-395

芳賀洋一、六槍雄太、五島彰二、松永忠雄、江刺正喜 : 円筒面レーザプロセスを用いた低侵襲医療機器の開発, 電気学会論文誌E,128-E, 10 (2008) 402-409

C.Y.Shao, Y.Kawai, M.Esashi and T.Ono : Electrostatic Actuator Probe with Curved Electrodes for Time-of-flight Scanning Force Microscopy, Review of Scientific Instruments, 81 (2010) 083702

J.Feng, X.Ye, M.Esashi and T.Ono : Mechanically Coupled Synchronized Resonators for Resonant Sensing Applications, J. of Micromech. Microeng., 20, 11 (2010) 0115001(5pp)

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研究紹介

半導体集積回路を作る微細加工技術を応用して、センサなどの小形で高機能なシステム部品を作る技術は、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれ重要なシステムの鍵を握る部品として使われています。我々はその研究を40年ほど前から行って、いろいろな開発を行い、製品化なども行ってきました。これには脳から神経インパルスなどを導出する電極や血管内で血液中の水素イオン濃度や炭酸ガス分圧をモニタするカテーテルなどです。

実際に試作する「ものづくり」を大切にしていますが、それには図1のように自作の設備を中心とした小回りのきくものを用い、多くの研究室で共用して使っています。それによる研究の例を紹介します。図2は光ファイバの端面に可動ダイアフラムを形成した極細の血圧計です。太さは125μmで髪の毛ほどのもので、血圧でダイアフラムが撓むのを光の干渉スペクトルの変化として検出します。また図3は磁気共鳴力顕微鏡(Magnetic Resonance Force Microscope : MRFM)というもので、厚さ50nm程の薄いシリコンの片持ち梁の先に小さな磁石をつけたものです。これでは磁力によって梁の共振周波数が変るため、極端に感度の良い磁気センサになります。これを用いると、細胞などの小さな部分で磁気共鳴イメージをできる可能性があります。


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手作りの設備を中心とした試作実験室


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極細光ファイバ血圧センサ


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磁気共鳴力顕微鏡(MRFM)によるマイクロ磁気共鳴イメージングの原理とプローブの写真

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担当授業

現在情報整理中になります

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メッセージ

学部生のみなさんへ
専門家としての役に立てるように勉強して欲しいと思いますが、実際の仕事につけばまた別の知識がどんどん加えていかなければなりません。そんな成長をし続けながら、それを実際に役立ててください。

高校生のみなさんへ
ニーズに応えながら、バーチャルではなくリアルな体験をする。アウトソーシングしないで自分でやる。そんな経験を積みながら自分を磨き、全体のことを考えられる役に立つ人になってもらいたいと思っています。

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